質量流量控制器應該注意些什么

　　質量流量控制器采用帶背光寬溫點陣形液晶顯示器，功能多而適用，尤其便于操作者操作，減少不必要的麻煩和錯誤。質量流量控制器無需預熱、瞬間啟動的顯著特點導致質量流量控制器在短短一秒鐘內就能開啟控制真空鍍膜步驟系統的流量，實時測量檢測質量流量、體積流量、壓力和溫度參數，并將采用溫度與壓力對流量參數進行充分填補。氣體模塊程序直接通過質量流量控制器自帶的屏幕顯示，并可直接通過屏幕按鈕操作切換氣體種類。

　　質量流量控制器既可進行氣體流量計量工作，也可用于過程控制領域。質量流量控制器引進國外技術生產，無須溫壓補償，直接測出流體的質量流量。質量流量控制器的突出特點是：沒有可動部件；壓力損失小；量程比寬；精度高；可靠性高；安裝簡單，操作方便。

　　在使用質量流量控制器進行作業時，結合我們的質量流量控制器使用經驗及測試情況，有幾個方面我們應該要注意的：

　　當儀表的工作條件變換時，對儀表的零位應重新加以調整。同時，儀表的導管必須水平安裝，要用水平儀校準。否則將增大工作條件變化對零位漂移的影響。機架更不可有震動或搖擺等情況故不宜在舶上使用。

　　流量范圍內的大量測試數據進行關聯運算，用小二乘法原理求直線回歸方程，其相關系數λ值均在0.999～0.9999范圍內，證明儀表具有良好的線性度。但線性度與量程大小有著流量越大，非線性越嚴重，所以一般把量程限定在0～4標升/時以內，以確保良好的線性度。為了能測量大流量而又保證線性度，質量流量控制器可采用分流原理來擴展儀表的量程。如采取旁路管、文丘利管、孔板等配合使用，量程可分別擴大到每小時幾十、幾百、幾千標升，直至幾萬標立方。

　　雖然真實氣體的比熱隨壓力的不同而有變化甚至某些氣體的變動幅度還比較大，但質量流量控制器的測量精度仍能保持桂一定范圍內。

　　導管材質的選擇，除了考慮耐腐蝕性以外，以選用導熱性能較好的材料為佳。

　　由于質量流量控制器這類儀表必須在氣體比熱相對穩定的情況下才能進行正常工作所以凡是氣體成分不穩定、氣體中央帶霧沫以及工作條件逼近氣體的液化臨界區等情況由于比熱值很不穩定，均不宜使用這種儀表。